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    SiCMOSFET器件的商業(yè)化[ 03-19 15:59 ]
    近20多年來,以碳化硅為代表的寬禁帶半導體器件,受到了廣泛的關注。SiC材料具有3倍于硅材料的禁帶寬度,10倍于硅材料的臨界擊穿電場強度,3倍于硅材料的熱導率,因此SiC功率器件適合于高頻、高壓、高溫等應用場合。 其中SiCMOSFET是最為成熟、應用最廣的SiC功率開關器件,具有高開關速度、低損耗和耐高溫等優(yōu)點,被認為是替代硅IGBT的最佳選擇。SiCMOSFET是一種具有絕緣柵結(jié)構(gòu)的單極性器件,關斷過程不存在拖尾電流,降低了開關損耗,進而減小散熱器體積;并且其開關速度快,開關頻率高,有利于減小變換器中電感
    碳化硅功率器件相關標準立項通過[ 03-18 15:54 ]
    據(jù)中國粉體網(wǎng)訊 近期,由江蘇宏微科技有限公司、重慶大學聯(lián)合牽頭,泰克科技(中國)有限公司、工業(yè)和信息化部電子第五研究所、全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院有限公司、北京海瑞克科技發(fā)展有限公司、廣州電網(wǎng)有限公司電力科學研究院等單位聯(lián)合提交的《碳化硅MOSFET開關運行條件下閾值穩(wěn)定性測試方法》團體標準提案,經(jīng)CASA標準化委員會(CASAS)管理委員會審核,根據(jù)《CASA管理和標準制修訂細則》,上述團體標準提案立項通過,分配編號為:CASA024。
    碳化硅晶片生產(chǎn)流程及清洗技術[ 03-17 14:52 ]
    碳化硅晶片經(jīng)過清洗可以有效去除表面沾污和雜質(zhì),同時保證不引入新的雜質(zhì),從而使最終的碳化硅晶片產(chǎn)品滿足半導體下游客戶的要求。 傳統(tǒng)的硅襯底材料使用RCA標準清洗方法來去除材料表面的污染,但是碳化硅是一種極性晶體,表面帶有一定的電荷,吸附污染物后變得更加難以清洗。
    低翹曲度碳化硅晶體切割技術難點[ 03-16 15:44 ]
    碳化硅的莫氏硬度為9.5,硬度與金剛石接近,只能用金剛石材料進行切割,切割難度大,保證切割過程穩(wěn)定獲得低翹曲度的晶片是技術難點之一。 為了達到下游外延開盒即用的質(zhì)量水平,需要對碳化硅襯底表面進行超精密加工,以降低表面粗糙度、表面平整度并達到嚴苛的金屬、顆??刂埔蟆? 化學機械拋光屬于化學作用和機械作用相結(jié)合的技術,碳化硅晶片表面首先與拋光液中的氧化劑發(fā)生化學反應,生成一層相對容易去除的軟質(zhì)層,然后在拋光液中的磨料和拋光墊的機械作用下去除軟質(zhì)層,在化學作用和機械作用的交替進行的過程中完成表面拋光,過程較為
    PVT碳化硅晶體生長技術難點[ 03-15 15:42 ]
    目前碳化硅單晶的生長方法主要包括以下三種:液相法、高溫化學氣相沉積法、物理氣相傳輸法(PVT)。其中PVT法是目前SiC單晶生長研究最多、最成熟的技術,其技術難點在于: (1)碳化硅單晶在2300°C以上高溫的密閉石墨腔室內(nèi)完成“固-氣-固”的轉(zhuǎn)化重結(jié)晶過程,生長周期長、控制難度大,易產(chǎn)生微管、包裹物等缺陷。 (2)碳化硅單晶包括200多種不同晶型,但生產(chǎn)一般僅需一種晶型,生長過程中易產(chǎn)生晶型轉(zhuǎn)變造成多型夾雜缺陷,制備過程中單一特定晶型難以穩(wěn)定控制,例如目前主流的4H型。
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