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碳化硅襯底10年自主創(chuàng)新之路

文章出處:原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯:楊麗君作者:劉娜人氣:-發(fā)表時(shí)間:2015-01-15 15:55:00【

  美國(guó)科銳公司作為碳化硅襯底提供商,曾長(zhǎng)期壟斷國(guó)際市場(chǎng)。2011年,科銳公司發(fā)布了6英寸碳化硅晶體,同年,天科合達(dá)才開(kāi)始量產(chǎn)4英寸碳化硅晶體。

  2013年,陳小龍團(tuán)隊(duì)開(kāi)始進(jìn)行6英寸碳化硅晶體的研發(fā)工作,用了近一年的時(shí)間,團(tuán)隊(duì)研發(fā)的國(guó)產(chǎn)6英寸碳化硅單晶襯底問(wèn)世。測(cè)試證明,國(guó)產(chǎn)6英寸碳化硅晶體的結(jié)晶質(zhì)量很好,該成果標(biāo)志著物理所碳化硅單晶生長(zhǎng)研發(fā)工作已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,可以為高性能碳化硅基電子器件的國(guó)產(chǎn)化提供材料基礎(chǔ)。“雖然起步有點(diǎn)晚,但通過(guò)10多年的自主研發(fā),我們與國(guó)外的技術(shù)差距在逐步縮小。”陳小龍說(shuō)。作為國(guó)內(nèi)碳化硅晶片生產(chǎn)制造的先行者,天科合達(dá)打破了國(guó)外壟斷,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,生產(chǎn)的碳化硅晶片不僅技術(shù)成熟,還低于國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品價(jià)格。

  截至2014年3月,天科合達(dá)形成了一條年產(chǎn)7萬(wàn)片碳化硅晶片的生產(chǎn)線,促進(jìn)了我國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展,取得了較好的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

  陳小龍指出,當(dāng)前碳化硅主要應(yīng)用于三大領(lǐng)域:高亮度LED、電力電子以及先進(jìn)雷達(dá),以后還可能走進(jìn)家用市場(chǎng),這意味著陳小龍團(tuán)隊(duì)的自主創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化之路還將延續(xù)。

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