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晶盛機電成功研發(fā)出8英寸N型SiC晶體

文章出處:芯TIP網(wǎng)責任編輯:作者:芯TIP人氣:-發(fā)表時間:2022-08-26 17:05:00【

8月12日消息,經(jīng)過晶體實驗室研發(fā)團隊半年多的技術(shù)攻關(guān),晶盛首顆8英寸N型SiC晶體成功出爐,標志著晶盛第三代半導體材料SiC研發(fā)自此邁入8英寸時代,同時這也是晶盛在寬禁帶半導體領(lǐng)域取得的又一標志性成果。

據(jù)了解,此次研發(fā)成功的8英寸SiC晶體,晶坯厚度25mm,直徑214mm,是晶盛在大尺寸SiC晶體研發(fā)上取得的重大突破。

在技術(shù)上,晶盛成功解決了8英寸晶體生長過程中多個難點問題,比如溫場不均、晶體開裂、氣相原料分布等等。

此外,還破解了SiC器件成本中襯底占比過高的難題,為大尺寸SiC襯底廣泛應用打下基礎(chǔ)。

SiC晶體生長和加工技術(shù)自主可控是搶占未來競爭制高點的關(guān)鍵。晶盛機電通過自主開發(fā)的設(shè)備、熱場和工藝技術(shù),不斷延伸產(chǎn)品系列。

2017年,晶盛開始布局碳化硅業(yè)務(wù)。

2020年,建立長晶和加工中試線,SiC晶體直徑也從最初的4英寸增大到如今的8英寸,進一步縮小國內(nèi)外技術(shù)差距,保障我國碳化硅產(chǎn)業(yè)在關(guān)鍵核心技術(shù)上的自主可控。

而此次8英寸SiC導電單晶研制成功,也極大地提升了晶盛在SiC單晶襯底行業(yè)的國際競爭力。

據(jù)悉,晶盛機電創(chuàng)建于2006年12月,目前已組建原料合成+長晶+切磨拋的中試產(chǎn)線,,并完成6-8英寸長晶熱場和設(shè)備開發(fā),產(chǎn)出6英寸襯底,在總厚度變化率(TTV)可穩(wěn)定達到<3μm。

據(jù)悉,晶盛機電攜碳化硅襯底晶片生產(chǎn)項目落戶寧夏。該項目總投資50億元,該項目分兩期建設(shè),將建設(shè)約7.5萬平方米廠房及輔助設(shè)施,主要生產(chǎn)6英寸及以上導電型和半絕緣型碳化硅襯底晶片。一期預計3月開工建設(shè),投資總額33.6億元,一期建成達產(chǎn)后預計年產(chǎn)6英寸碳化硅晶片40萬片,年營業(yè)收入24億元。

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