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中科鋼研高純碳化硅項(xiàng)目及高端裝備項(xiàng)目開工

文章出處:粉體圈網(wǎng)責(zé)任編輯:作者:粉體圈人氣:-發(fā)表時(shí)間:2021-12-21 10:07:00【

12月18日,中科鋼研高純碳化硅粉和智能高端裝備制造項(xiàng)目開工儀式在山東菏澤舉行。

據(jù)悉,集中開工的兩個(gè)項(xiàng)目采用國際一流標(biāo)準(zhǔn),建設(shè)智能高端裝備和高純碳化硅粉新材料兩個(gè)“總部+生產(chǎn)+研發(fā)”三合一項(xiàng)目,投資額均超過10億元。早前披露信息顯示,2018年開工總投資10億元的山東萊西中科鋼研半導(dǎo)體項(xiàng)目預(yù)計(jì)年內(nèi)投產(chǎn),全部達(dá)產(chǎn)可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)5萬片4英寸碳化硅晶體襯底片、5000片4英寸高純度半絕緣型碳化硅晶體襯底片。菏澤項(xiàng)目無疑是該項(xiàng)目原料就近供給的有力支撐。

中科鋼研擁有先進(jìn)的4/8英寸升華法碳化硅長晶爐,4英寸高溫化學(xué)氣相沉積法碳化硅生長技術(shù),填補(bǔ)了國內(nèi)空白,并具備了產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用條件。

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