碳化硅晶體是良好半導體材料
碳化硅晶體是具有高穩(wěn)定性的良好半導體材料,目前我國使用的碳化硅晶體材料主要依賴于進口。山東大學從本世紀初開始對碳化硅晶體材料展開科研攻關(guān),先后承擔了國家863和973計劃相關(guān)重大科研項目,碳化硅單晶研究技術(shù)在國內(nèi)處于領(lǐng)先地位。研究人員經(jīng)過近10年的研究和2000多次晶體生長實驗,打破國外封鎖,成功研發(fā)出可靠的碳化硅晶體材料制備技術(shù)。碳化硅單晶襯底和藍寶石襯底是新一代半導體材料廣泛應(yīng)用于民用航空、半導體照明、光電子、電力輸送、寬帶通訊等技術(shù)領(lǐng)域,這一產(chǎn)業(yè)化項目的實施將大大縮短我國與世界先進國家的差距。同時,碳化硅單晶襯底還是重大節(jié)能環(huán)保材料。
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